BET测试理论是根据希朗诺尔、埃米特和泰勒三人提出的多分子层吸附模型，并推导出单层吸附量Vm与多层吸附量V间的关系方程，即著名的BET方程。BET方程是建立在多层吸附的理论基础之上，与物质实际吸附过程更接近，因此测试结果更准确。通过实测3-5组被测样品在不同氮气分压下多层吸附量，以P/P0为X轴，P/V（P0-P）为Y轴，由BET方程做图进行线性拟合，得到直线的斜率和截距，从而求得Vm值计算出被测样品比表面积。理论和实践表明，当P/P0取点在0.05~0.35范围内时，BET方程与实际吸附过程相吻合，图形线性也很好，因此实际测试过程中选点在此范围内。

BET实验操作程序与直接对比法相近似，不同的是BET法需标定样品实际吸附氮气量的体积大小，理论计算方法也不同。BET法测定比表面积适用范围广，国际上普遍采用，测试结果准确性和可信度高，特别适合科研单位使用。当被测样品吸附氮气能力较强时，可采用单点BET方法，测试速度与直接对比法相同，测试结果与多点BET法相比误差也不大。

BET测试方法，即将样品放入充满N₂气体体系，材料的表面在液氮温度下发生物理吸附。当该物理吸附处于平衡时，通过测量平衡时的吸附压力和吸附气体的流量，可求出材料的单分子层吸附量，从而计算出试样的比表面积。

比表面积计算BET方程如下：

式中，P为氮气的分压；P₀为液氮温度下，氮气的饱和蒸汽压；V为样品的实际吸附量；V_m为氮气单层饱和吸附量；C为与样品吸附能力有关的常数。